半導體行業污染物排放標準

前 言
本標準規定了半導體企業的水污染物和大氣污染物排放限值、監測和監控要求，以及標準實施與監督等相關規定。
本標準未規定的污染物項目仍執行國家或地方相應的污染物排放標準。
本標準實施后，國家新發布的行業標準嚴于本標準時，應執行國家標準。環境影響評價文件或排污許可證要求嚴于本標準時，按照批復的環境影響評價文件或排污許可證執行。
本標準根據GB/T 1.1起草。
本標準為首次發布。
本標準由江蘇省生態環境廳提出并歸口。
本標準江蘇省人民政府于2019年12月11日批準。
半導體行業污染物排放標準
1 范圍
本標準規定了半導體企業的水污染物和大氣污染物排放標準限值、監測要求、達標判定、實施與監督。
本標準適用于半導體企業的水污染物排放管理、大氣污染物排放管理，以及半導體企業排污許可管理、建設項目環境影響評價、建設項目環境保護設施設計、竣工驗收及其投產后的污染控制與管理。
半導體企業與污水集中處理設施采用協商方式確定企業水污染物間接排放限值時，污水集中處理設施的水污染物排放管理也適用于本標準。
2 規范性引用文件
下列文件對于本文件的應用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，僅注日期的版本適用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用于本文件。
GB 3095 環境空氣質量標準
GB 3838 地表水環境質量標準
GB/T 6920 水質 pH值的測定 玻璃電極法
GB/T 7466 水質 總鉻的測定
GB/T 7467 水質 六價鉻的測定 二苯碳酰二肼分光光度法
GB/T 7470 水質 鉛的測定 雙硫腙分光光度法
GB/T 7471 水質 鎘的測定 雙硫腙分光光度法
GB/T 7475 水質 銅、鋅、鉛、鎘的測定 原子吸收分光光度法
GB/T 7484 水質 氟化物的測定 離子選擇電極法
GB/T 7485 水質 總砷的測定 二乙基二硫代氨基甲酸銀分光光度法
GB/T 7494 水質 陰離子表面活性劑的測定 亞甲藍分光光度法
GB 8978 污水綜合排放標準
GB/T 11893 水質 總磷的測定 鉬酸銨分光光度法
GB/T 11901 水質 懸浮物的測定 重量法
GB/T 11907 水質 銀的測定 火焰原子吸收分光光度法
GB/T 11910 水質 鎳的測定 丁二酮肟分光光度法
GB/T 11912 水質 鎳的測定 火焰原子吸收分光光度法
GB 13271 鍋爐大氣污染物排放標準
GB/T 15432 環境空氣 總懸浮顆粒物的測定 重量法
GB/T 15516 空氣質量 甲醛的測定 乙酰丙酮分光光度法
GB/T 16157 固定污染源排氣中顆粒物測定與氣態污染物采樣方法
GB/T 16489 水質 硫化物的測定 亞甲基藍分光光度法
HJ/T 27 固定污染源排氣中氯化氫的測定 硫氰酸汞分光光度法
HJ/T 28 固定污染源排氣中氰化氫的測定 異煙酸-吡唑啉酮分光光度法
HJ/T 30 固定污染源排氣中氯氣的測定 甲基橙分光光度法
HJ 38 固定污染源廢氣 總烴、甲烷和非甲烷總烴的測定 氣相色譜法
HJ/T 42 固定污染源排氣中氮氧化物的測定紫外分光光度法
HJ/T 43 固定污染源排氣中氮氧化物的測定鹽酸萘乙二胺分光光度法
HJ/T 55 大氣污染物無組織排放監測技術導則
HJ/T 60 水質 硫化物的測定 碘量法
HJ/T 65 大氣固定污染源 錫的測定 石墨爐原子吸收分光光度法
HJ/T 67 大氣固定污染源 氟化物的測定 離子選擇電極法
HJ 75 固定污染源煙氣（SO2、NOx、顆粒物）排放連續監測技術規范
HJ 76 固定污染源煙氣（SO2、NOx、顆粒物）排放連續監測系統技術要求及檢測方法
HJ 84 水質 無機陰離子的測定 離子色譜法
HJ/T 91 地表水和污水監測技術規范
HJ/T 195 水質 氨氮的測定 氣相分子吸收光譜法
HJ/T 199 水質 總氮的測定 氣相分子吸收光譜法
HJ/T 200 水質 硫化物的測定 氣相分子吸收光譜法
HJ/T 397 固定源廢氣監測技術規范
HJ/T 399 水質 化學需氧量的測定 快速消解分光光度法
HJ 484 水質 氰化物的測定 容量法和分光光度法
HJ 485 水質 銅的測定 二乙基二硫代氨基甲酸鈉分光光度法
HJ 486 水質 銅的測定 2,9-二甲基-1,10-菲啰啉分光光度法
HJ 487 水質 氟化物的測定 茜素磺酸鋯目視比色法
HJ 488 水質 氟化物的測定 氟試劑分光光度法
HJ 489 水質 銀的測定 3,5-Br2-PADAP分光光度
HJ 490 水質 銀的測定 鎘試劑2B分光光度法
HJ 493 水質 采樣樣品的保存和管理技術規定
HJ 494 水質 采樣技術指導
HJ 495 水質 采樣方案設計技術指導
HJ 501 水質 總有機碳的測定 燃燒氧化-非分散紅外吸收法
HJ 533 環境空氣和廢氣 氨的測定 納氏試劑分光光度法
HJ 534 環境空氣 氨的測定 次氯酸鈉-水楊酸分光光度法
HJ 535 水質 氨氮的測定 納氏試劑分光光度法
HJ 536 水質 氨氮的測定 水楊酸分光光度法
HJ 537 水質 氨氮的測定 蒸餾-中和滴定法
HJ 544 固定污染源廢氣 硫酸霧的測定 離子色譜法
HJ 548 固定污染源廢氣 氯化氫的測定 硝酸銀容量法
HJ 549 環境空氣和廢氣 氯化氫的測定 離子色譜法
HJ 604 環境空氣 總烴、甲烷和非甲烷總烴的測定 直接進樣-氣相色譜法
HJ 636 水質 總氮的測定 堿性過硫酸鉀消解紫外分光光度法
HJ 637 水質 石油類和動植物油的測定 紅外分光光度法
HJ 644 環境空氣 揮發性有機物的測定 吸附管采樣-熱脫附/氣相色譜-質譜法
HJ 657 空氣和廢氣顆粒物中鉛等金屬元素的測定電感耦合等離子體質譜
HJ 659 水質 氰化物等的測定 真空檢測管-電子比色法
HJ 665 水質 氨氮的測定 連續流動-水楊酸分光光度法
HJ 666 水質 氨氮的測定 流動注射-水楊酸分光光度法
HJ 667 水質 總氮的測定 連續流動-鹽酸萘乙二胺分光光度法
HJ 668 水質 總氮的測定 流動注射-鹽酸萘乙二胺分光光度法
HJ 670 水質 磷酸鹽和總磷的測定 連續流動-鉬酸銨分光光度法
HJ 671 水質 總磷的測定 流動注射-鉬酸銨分光光度法
HJ 683 環境空氣 醛、酮類化合物的測定高效液相色譜法
HJ 692 固定污染源廢氣 氮氧化物的測定 非分散紅外吸收法
HJ 693 固定污染源廢氣 氮氧化物的測定 定電位電解法
HJ 694 水質 汞、砷、硒、鉍和銻的測定 原子熒光法
HJ 700 水質 65 種元素的測定 電感耦合等離子體質譜法
HJ 732 固定污染源廢棄揮發性有機物的采樣 氣袋法
HJ 734 固定污染物源廢氣 揮發性有機物的測定 固相吸附-熱脫附/氣相色譜-質譜法
HJ 759 環境空氣 揮發性有機物的測定 罐采樣/氣相色譜-質譜法
HJ 776 水質 32種元素的測定 電感耦合等離子體發射光譜法
HJ 777 空氣和廢氣 顆粒物中金屬元素的測定 電感耦合等離子體發射光譜法
HJ 828 水質 化學需氧量的測定 重鉻酸鹽法
HJ 836 固定污染源廢氣 低濃度顆粒物的測定 重量法
HJ 908 水質 六價鉻的測定 流動注射-二苯碳酰二肼光度法
HJ 955 環境空氣 氟化物的測定 濾膜采樣/氟離子選擇電極法
HJ 970 水質 石油類的測定 紫外分光光度法
《污染源自動監控管理辦法》（國家環境保護總局令 第28號）
《環境監測管理辦法》（國家環境保護總局令 第39號）
3 術語和定義
下列術語和定義適用于本標準。
3.1
半導體企業 semiconductor industry
從事半導體分立器件或集成電路的制造、封裝測試的企業。
3.2
現有企業 existing facility
指本標準實施之日前已建成投產或環境影響評價文件已通過審批的半導體企業。
3.3
新建企業 new facility
指本標準實施之日起環境影響評價文件通過審批的新建、改建和擴建的半導體工業建設項目。
3.4
直接排放 direct disge
指排污單位直接向環境水體排放水污染物的行為。
3.5
間接排放 indirect disge
排污單位向污水集中處理設施排放水污染物的行為。
3.6
污水集中處理設施 concentrated wastewater treatment facilities
為兩家及兩家以上排污單位提供污水處理服務的污水處理設施，包括各種規模和類型的城鎮污水集中處理設施、工業集聚區（經濟技術開發區、高新技術產業開發區、出口加工區等各類工業園區）污水集中處理設施，以及其他由兩家及兩家以上排污單位共用的污水處理設施等。
3.7
排水量 effluent volume
企業或生產設施排放到企業法定邊界外的廢水量。包括與生產有直接或間接關系的各種外排廢水（含廠區生活污水、冷卻廢水、廠區鍋爐和電站廢水等）。
3.8
單位產品基準排水量 benchmark effluent volume per unit product
用于核定水污染物排放濃度而規定的生產單位產品的污水排放量上限值。
3.9
揮發性有機物 volatile organic compounds,VOCs
參與大氣光化學反應的有機化合物，或者根據有關規定確定的有機化合物。在表征VOCs總體排放情況時，根據行業特征和環境管理要求，可采用總揮發性有機物（以TVOC表示）、非甲烷總烴（以NMHC表示）作為污染物控制項目。
3.10
非甲烷總烴 non-methane hydrocarbon
采用規定的監測方法，檢測器有明顯響應的除甲烷外的碳氫化合物的總稱（以碳計）。本標準使用“非甲烷總烴（NMHC）”作為排氣筒和廠界揮發性有機物排放的綜合控制指標。
3.11
總揮發性有機物 total volatile organic compounds（TVOC）
采用規定的監測方法，對廢氣中的單項揮發性有機物進行測量，加和得到揮發性有機物的總量，以單項揮發性有機物的質量濃度之和計。實際工作中，應按預期分析結果，對占總量90%以上的單項揮發性有機物進行測量，加和得出。
3.12
標準狀態 standard condition
溫度為273.15K、壓力為101 325 Pa 時的狀態。本標準規定的大氣污染物排放濃度限值均以標準狀態下的干氣體為基準。
3.13
企業邊界 enterprise boundary
指半導體工業企業的法定邊界。若難以確定法定邊界，則指企業的實際占地邊界。
4 水污染物排放控制要求
4.1 水污染物排放限值見表1。
4.2 企業向城鎮污水處理廠排放廢水時，其第二類水污染物排放應達到表1中間接排放限值；廢水進入具備處理此類污水工藝和能力的集中式工業廢水處理廠的企業，其第二類水污染物排放可與集中式工業污水處理廠商定間接排放限值，并簽訂協議報當地環境保護主管部門備案。企業與集中式工業廢水處理廠商定的間接排放限值，不得寬于《污水綜合排放標準》中規定的接管限值。未簽訂協議的企業，其第二類水污染物執行表1中的間接排放限值。
4.3在國土開發密度高、環境承載能力開始減弱，或水環境容量較小、生態環境脆弱，容易發生嚴重水環境污染問題而需要采取特別保護措施地區的企業，根據生態環境保護工作要求，執行表1規定的特別排放限值。
執行水污染物特別排放限值的地域范圍、時間，由省級生態環境主管部門或設區市人民政府規定。

 
4.3不同類型的半導體生產企業，其單位產品基準排水量執行表2規定。

4.4 水污染物排放限值適用于單位產品實際排水量不高于單位產品基準排水量的情況。若單位產品實際排水量超過單位產品基準排水量，應按公式（1）將實測水污染物濃度換算為水污染物基準水量排放濃度，并以水污染物基準水量排放濃度作為判定排放是否達標的依據。產品產量和排水量統計周期為一個工作日。
在企業的生產設施同時生產兩種以上產品，可適用不同排放控制要求或不同行業污染物排放標準時，且生產設施產生的污水混合處理排放的情況下，應執行排放標準中規定的最嚴格的濃度限值，并按公式（1）換算水污染物基準水量排放濃度：

5 大氣污染物排放控制要求
5.1 有組織排放控制要求
5.1.1 大氣污染物排放限值見表3。

5.1.2 廢氣收集處理系統應與生產工藝設備同步運行。廢氣收集處理系統發生故障或檢修時，對應的生產工藝設備應停止運行，待檢修完畢后同步投入使用；生產工藝設備不能停止運行或不能及時停止運行的，應設置廢氣應急處理設施或采取其他替代措施。
5.1.3 進入VOCs燃燒（焚燒、氧化）裝置的廢氣含氧量可滿足自身燃燒、氧化反應，不需另外補充空氣的（燃燒器需要補充空氣助燃的除外），以實測濃度作為達標判定依據，但裝置出口煙氣含氧量不得高于裝置進口廢氣含氧量。
吸附、吸收、冷凝、生物、膜分離等其他VOCs處理設施，以實測濃度作為達標判定依據，不得稀釋排放。
進入VOCs燃燒（焚燒、氧化）裝置的廢氣需要補充氧氣（空氣）進行燃燒、氧化反應的，排氣筒中實測大氣污染物排放濃度，應按公式（2）換算為基準含氧量為3%的大氣污染物基準排放濃度。

5.1.4 排放氯氣、氰化氫的排氣筒高度不低于25m，其他排氣筒高度不低于15m（因安全考慮或由特殊工藝要求的除外），具體高度以及與周圍建筑物的距離應根據環境影響評價文件確定。
5.1.5 當執行不同排放控制要求的廢氣合并排氣筒排放時，應在廢氣混合前進行監測，并執行相應的排放控制要求；若可選擇的監控位置只能對混合后的廢氣進行監測，則應按各排放控制要求中最嚴格的規定執行。
5.2 無組織排放控制要求
企業邊界大氣污染物任何1小時平均濃度執行表4 規定的限值。


6 污染物監測要求
6.1 污染物監測的一般要求
6.1.1 企業應按照《環境監測管理辦法》等規定，建立企業監測制度，制定監測方案，對污染物排放狀況及其對周邊環境質量的影響開展自行監測，保存原始監測記錄，并公布監測結果。
6.1.2 企業安裝污染源排放自動監控設備的要求，按有關法律和《污染源自動監控管理辦法》的規定執行。
6.1.3 企業應按照環境監測管理規定和技術規范的要求，設計、建設、維護永久性采樣口、采樣測試平臺和排污口標志。
6.1.4 對企業排放的廢水和廢氣的采樣，應根據監測污染物的種類，在規定的污染物排放監控位置進行。有廢水、廢氣處理設施的，應在該設施后監控。
6.2 水污染物監測要求
6.2.1 水污染物的監測采樣按HJ/T 91、HJ 493、HJ 494、HJ 495 的規定執行。
6.2.2 對企業排放水污染物濃度的測定采用表5所列的方法標準。
6.2.3 本標準發布實施后，表5所列污染物如有新發布的國家環境監測分析方法標準，其方法適用范圍和條件相同的，也適用于本排放標準對應污染物的測定。


6.3 大氣污染物監測要求
6.3.1 排氣筒中大氣污染物的監測采樣按GB/T 16157、HJ/T 397、HJ 75、HJ 76、HJ 732規定執行；大氣污染物無組織排放的監測按HJ/T 55 規定執行。
6.3.2 對企業排放大氣污染物濃度的測定采用表6所列的方法標準。
6.3.3 本標準發布后，表6所列污染物如有新發布的國家環境監測分析方法標準，其方法適用范圍和條件相同的，也適用于本排放標準對應污染物的測定。

7 達標判定
7.1 采用手工監測時，按照相關監測技術規范要求獲取的監測結果超過本標準排放濃度限值的，判定為排放超標。各級生態環境主管部門在對企業進行監督性檢查時，可以現場即時采樣或監測的結果，作為判定排污行為是否符合排放標準以及實施相關環境保護管理措施的依據。
7.2 企業按照法律法規及標準規范要求與生態環境部門聯網的自動監測有效數據，大氣污染物以任意1小時平均濃度值作為達標考核的依據，水污染物以日均值作為達標考核的依據。
7.3 國家和省對達標判定另有要求的，從其規定。
8 標準的實施與監督
8.1 新建企業自2020年7月1日起，現有企業自2022年7月1日起執行本標準。
8.2 本標準由縣級以上人民政府生態環境主管部門負責監督實施。
8.3 在任何情況下，企業均應遵守本標準的污染物排放控制要求，采取必要措施保證污染防治設施正常運行。